EDWARDS展示的真空設(shè)備

Edwards公司總部設(shè)在英國，擁有完善成熟的品牌。Edwards公司真空和尾氣處理技術(shù)致力

于在整個半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中減少污染、降低能耗和運(yùn)營成本，這些領(lǐng)域包括LED、太陽能光伏

(solar PV)和平板顯示(flat-panel display，F(xiàn)PD)等。

Edwards市場半導(dǎo)體行業(yè)Maiku Boger表示：“中國的半導(dǎo)體行業(yè)繼續(xù)表現(xiàn)出強(qiáng)勁增

長，尤其是受到國內(nèi)生產(chǎn)的推動。中國的戰(zhàn)略目標(biāo)包括新能源和環(huán)境的可持續(xù)性，因此，太陽

能光伏(PV)、FPD和化合物半導(dǎo)體等都屬于中國非常具有競爭力的廣泛工業(yè)領(lǐng)域。Edwards公司

的真空和尾氣處理系統(tǒng)是滿足這個巨大市場供應(yīng)鏈的核心，從2005年開始，業(yè)界*中國

已經(jīng)是世界zui大的半導(dǎo)體芯片市場。”

Edwards的真空和尾氣處理系統(tǒng)緩解了一系列環(huán)境威脅，例如半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中產(chǎn)生的酸性和腐

蝕性氣體，Edwards可幫助用戶實(shí)現(xiàn)碳排放為負(fù)值(carbon-negative)。Edwards通過一系列創(chuàng)新

但已經(jīng)過驗(yàn)證的泵和系統(tǒng)來提供高能效解決方案，所有這些方案都僅需要相對較低的資本投入

和維護(hù)成本。　　

Edwards在中國的主要目標(biāo)就是按照客戶的特定要求來提供定制的真空解決方案和增值服務(wù)，以

便幫助他們應(yīng)對在先進(jìn)工藝和設(shè)備制造中遇到的挑戰(zhàn)。Edwards能夠在需要尾氣處理的場合提供

“交鑰匙”系統(tǒng)方案。

EDWARDS展示的真空設(shè)備