普旭真空泵系統(tǒng)設(shè)計(jì)與制作

真空系統(tǒng)。是由真空泵、PLC程序控制系統(tǒng)、儲(chǔ)氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等組成的

成套真空系統(tǒng)。目前，該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體業(yè)、光電背光模組、機(jī)械加工等行業(yè)。

該真空系統(tǒng)出廠時(shí)已經(jīng)包括了抽速控制、進(jìn)氣過濾、主要運(yùn)行數(shù)據(jù)顯示、運(yùn)行保護(hù)及遠(yuǎn)程控制接口

等。只需要在現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行簡(jiǎn)單的連接電源和管道,即可以組成一個(gè)完整的真空系統(tǒng)。該真空系統(tǒng)的控制系

統(tǒng)由先進(jìn)的PLC控制系統(tǒng)經(jīng)過編程后組成,以觸摸屏為人機(jī)界面,實(shí)現(xiàn)對(duì)真空系統(tǒng)、工件行走、磁控靶、

工藝設(shè)定和執(zhí)行、報(bào)警保護(hù)系統(tǒng)等的全自動(dòng)化控制。

真空應(yīng)用設(shè)備種類繁多，但無論何種真空應(yīng)用設(shè)備都有一套排除被抽容器內(nèi)氣體的抽氣系統(tǒng)，以便在

真空容器內(nèi)獲得所需要的真空條件。舉例說明：一個(gè)真空處理用的容器，用管道和閥門將它與真空泵

連接起來，當(dāng)真空泵對(duì)容器進(jìn)行抽空時(shí)，容器上面有真儂測(cè)量裝置，這就構(gòu)成了一個(gè)真空抽氣系統(tǒng)。